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產(chǎn)品介紹/Prroduct introduction

本產(chǎn)品陶瓷芯片采用HTCC技術(shù)、產(chǎn)品性能穩(wěn)定、一致性好、使用壽命長，陶瓷芯片采用TSP抗水熱沖擊保護層 ，降低了陶瓷片在冷凝水沖擊下開裂的風險，同時提高了產(chǎn)品的抗硅中毒能力，產(chǎn)品采用粉環(huán)、陶瓷、基座密封，經(jīng)過高溫熱處理，密封性好，防止尾氣泄露對參考腔室電流信號造成干擾，提高了產(chǎn)品的測量精度。

產(chǎn)品參數(shù)/Product parameters

電阻（23℃）：3.2±0.8Ω

額定電壓（PWM）：12±1V   

起燃時間（350℃）：＜12S 

測量精度（λ=0.8時，測量精度為0.8±0.01）

測量精度（λ=0.8時，測量精度為1.016±0.007）

測量精度（λ=0.8時，測量精度為1.7±0.05）

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